先端半導体研究センター Semiconductor Frontier Research Center (SFRC)は設立二年目を迎えました。
今回のシンポジウムでは、最先端半導体製造装置を有する共用パイロットラインを国内で初めて構築するなど、先端半導体技術の研究開発を推進する当センターの最新の研究成果についてご紹介しました。

司会進行は司会：松川 貴 副研究センター⻑が務めました。安⽥ 哲⼆産総研 エレクトロニクス・製造領域 領域⻑の開会あいさつに始まり、続いて経済産業省 商務情報政策局情報産業課 課長 南部 友成 様からのご来賓挨拶(ご代読)をいただきました。

基調講演 

先端半導体研究センターの紹介

先端半導体研究センターについて、概要・施設説明、続いて研究の紹介を行いました。

昌原 明植 研究センター長による先端半導体研究センターの紹介、伊藤 文則 副研究センター⻑がオープンパイロットラインの紹介をしました。続いて林 喜宏 招聘研究員、熊谷 直人 主任研究員、太田 裕之 研究チーム長、八木下 淳史 招聘研究員がNEDO P5G-PjにおけるGAAFETの開発状況について紹介しました。

招待講演

招待講演として最先端の半導体デバイスの製造装置・技術事例についてご講演いただきました。

「先端ロジック向け装置開発とパイロットラインへの期待」 前原 大樹 様（東京エレクトロン Innovation X Lab.）

「次世代半導体製造における装置開発の最前線」 三河 巧 様（SCREENセミコンダクターソリューションズ 知財戦略、技術戦略担当執行役）

「ナノインプリントリソグラフィの進展と半導体デバイス製造技術」 山本 磨人 様（キヤノン 半導体機器NGL第三開発部 部長）

新設チーム、産総研・東大 AIチップデザインオープンイノベーションラボラトリのご紹介

2025年度にセンターに新設された、グリーン半導体プロセス研究チーム・セキュア集積回路研究チーム・デバイスシミュレーション研究チームについてご紹介しました。続いて、AIチップデザインオープンイノベーションラボラトリについてご紹介しました。

質疑応答・閉会のあいさつ