プログラム
司会:松川 貴 (SFRC 副研究センター⻑)
13:00-13:05
開会の挨拶 安⽥ 哲⼆(産総研 エレクトロニクス・製造領域 領域⻑)
13:05-13:10
来賓挨拶 南部 友成 様(経済産業省 商務情報政策局情報産業課 課長)
13:10-13:40
基調講演「SEMIにおけるサステナビリティに関する取組みの展望と産学官連携への期待 」 枝 礼子 様(SEMIジャパン サステナビリティ マネージャー)
13:40-13:50
「先端半導体研究センターのご紹介」 昌原 明植(SFRC 研究センター長)
13:50-13:55
「SCRオープンパイロットラインのご紹介」 伊藤 文則(SFRC 副研究センター長)
13:55-14:45
「NEDO P5G-PjにおけるGAAFETの開発状況について」 林 喜宏(SFRC 招聘研究員)
14:55-15:15
招待講演「先端ロジック向け装置開発とパイロットラインへの期待」 前原 大樹 様(東京エレクトロン Innovation X Lab.)
15:15-15:35
招待講演「次世代半導体製造における装置開発の最前線」 三河 巧 様(SCREENセミコンダクターソリューションズ 知財戦略、技術戦略担当執行役)
15:35-15:55
招待講演「ナノインプリントリソグラフィの進展と半導体デバイス製造技術」 山本 磨人 様(キヤノン 半導体機器NGL第三開発部 部長)
15:55-16:10
新設チームのご紹介「半導体グリーンプロセス」 内田 紀行(SFRC 総括研究主幹 /グリーン半導体プロセス研究チーム長)
16:10-16:25
新設チームのご紹介「集積回路ハードウェアセキュリティ技術」 堀 洋平(SFRC セキュア集積回路研究チーム 長)
16:25-16:40
新設チームのご紹介「先端半導体デバイスシミュレーション」 植田 暁子(SFRC デバイスシミュレーション研究チーム 長)
16:40-17:00
「先端ロジック活用AI集積回路の開発と設計拠点整備の状況」 内山 邦男(AIチップデザインオープンイノベーションラボラトリ)
17:10-17:15
閉会の挨拶 澤 彰仁(産総研エレクトロニクス・製造領域 副領域長)