ナノ顕微分光グループ
Nanoscale MicroSpectroscopic Analysis Group

　半導体デバイスやライフサイエンスなどの先端産業では、機能材料や素子の表面・界面というミクロな状態を計測して制御することが、ますます重要となってきています。活性種計測技術研究グループでは、反応性の高い状態にある原子・分子やイオンなどの“活性種”という新たな道具を用いて、表面・界面を高感度・高精度に計測しかつ制御する技術を開発することを目指しています。

　当グループでは、反応性の高い状態にある原子・分子やイオンなどの"活性種"を状態制御することにより、先端産業で用いられる機能材料や素子の表面・界面というミクロな領域の状態を高感度・高精度に計測し制御する技術とそれに基づくツールを開発し、工業標準化へ展開することを目指しています。

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研究内容　　Research　Topics

• 　活性種で覆う
• 　活性種で削る 　　　　　　　　　　　
•  活性種をみる 　　　　　　　　　　　
•  ナノ物質をみる　　　　　　　　　

  　   

  　成果リスト（2004-）　　Publications (since2004) etc.
  
  
     Last updated  2014.6.10
  
  
  
  
  お問い合わせ
       ナノ顕微分光グループ
       グループリーダー　中村　健
       e-mail：ken.nakamura[ｱｯﾄ]aist.go.jp
                ([ｱｯﾄ]を@にして送信下さい）
      
      〒305-8568　つくば市梅園1-1-1　中央第2
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