金属クラスター錯体という巨大分子のイオンビームを用いて、材料表面の原子層を剥ぐように削り、そこに含まれる微量な元素を高精度に計測する技術の開発を行っています。
クラスターイオンビームの特徴は、単原子ビームで問題となるミキシングの影響が小さく、原子層レベルで表面を削ることができることです。これは、クラスターイオンが材料表面に衝突する際、クラスターイオンの持つ運動エネルギーがクラスター構成原子に分配され、１原子あたりのエネルギーが小さくなることにより表面近傍の粒子のみがスパッタされるためです。
さらに、クラスターを構成した多数の原子がスパッタリングに寄与するため、単原子ビームと比べてスパッタ効率が高く、表面の原子層を効率良く剥ぐように削ることができます。
