水・石油等の液体流量標準の開発・維持・供給、流量・流速計測技術の開発

担当:古市、土井原、チョン、和田、小野、芳田、加賀見

 水、石油(灯油、軽油、スピンドル油、工業ガソリン)に関する液体流量標準に関して、その校正設備を開発し、標準供給を行っている。すべての設備は、静的秤量法に基づく校正を原理としており、流量や液温の高い安定性や高性能ダイバーターを用いることにより、世界的にトップクラスの小さな不確かさを達成している。また、校正可能な流量や粘度範囲についても世界的に最大規模である。
 また、これらの設備を用いた流量や流速計測技術の開発に取り組んでいる。特に、超音波やコリオリ流量計について、技術的な開発を行ってきている。

液体微小流量における流量校正技術の開発、液体微小流量における流量計の開発・検証、流動現象に関する基礎研究

担当:土井原、チョン、加賀見

 半導体製造、医療・分析機器、連続化学合成などの分野において、微小液体流量の計測制御は、重要な基盤技術の一つである。例えば、半導体製造装置や分析機器には、送液するプランジャーポンプや流量を監視するフローセンサーが組み込まれている。これらのフローセンサーや送液ポンプの精度、安定性、再現性は、半導体製品の性能や分析機器の信頼性に大きく影響している。数百g/minから数mg/minの流量域で校正が可能な流量標準の開発やマイクロチャンネル内の流動場に関する研究を行っている。

高レイノルズ数における円管内乱流に関する基礎研究、非ニュートン流体における乱流現象に関する基礎研究

担当:古市、小野

 高レイノルズ数実流設備を用いた高レイノルズ数円管内乱流において、管摩擦係数やLDVを用いた流速の高精度計測を行い、その乱流における諸特性を解明するための研究を行っている。また、流量と粘度分野の融合研究として、非ニュートン流体の乱流現象に対する研究を開始した。

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