メンバー
| 三隅伊知子 (MISUMI Ichiko) | 研究グループ長 | ナノ構造計測標準全般 |
| 東康史 (AZUMA Yasushi) | 主任研究員 | X線反射率法(XRR)、3次元X線顕微鏡法(3DXRM) |
| 加藤晴久 (KATO Haruhisa) | 上級主任研究員 | 光・磁場・電場・X線を用いた材料特性評価 |
| 木津良祐 (KIZU Ryosuke) | 主任研究員 | 原子間力顕微鏡法(AFM) |
| 熊谷和博 (KUMAGAI Kazuhiro) | (兼務) | 走査電子顕微鏡法(SEM) |
| 小林慶太 (KOBAYASHI Keita) | 主任研究員 | 透過電子顕微鏡法(TEM) |
| 張麓ルウ (ZHANG Lulu) | 主任研究員 | X線光電子分光法(XPS) |
| 中村文子 (NAKAMURA Ayako) | (兼務) | 光・磁場・電場・X線を用いた材料特性評価 |
＊常勤職員のみ公開。