Nanodimensional Standards Group

産総研
ナノ構造計測標準研究グループ
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター 物質計測標準研究部門

last updated 2022.11
What's New

2022.11.18
接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向―測長原子間力顕微鏡を用いた事例― (トライボロジスト)(三隅)

2022.11.14
単細胞緑藻類Chlamydomonas reinhardtiiにおける生物起源テルルナノロッドの形成 (Metallomics誌)(共著:熊谷・小林)

2022.11.1
人事異動によりメンバーを更新しました。

2022.10.20
技術で未来拓く 産総研の挑戦(232)パターン側壁の可視化 (日刊工業新聞)(木津)

2022.10.3
人事異動によりメンバーを更新しました。

2022.7.1
人事異動によりメンバーを更新しました。

2022.6.17
木津良祐が公益社団法人精密工学会2022年度精密工学会春季大会学術講演会におきましてベストプレゼンテーション賞に表彰されました。
題目:ラインエッジラフネスが制御されたシリコンラインパターンの作製と評価

2022.6.1
精密な粗さパラメータ測定のためのプロファイル平均化法を用いた偏りのないラインエッジラフネス測定 (J. of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology)(木津・三隅)

2022.5.6
Si試料の格子面間隔変動に及ぼす透過型電子顕微鏡法用試料処理の影響 (Ultramicroscopy誌)(小林・三隅)

2022.4.1
人事異動によりメンバーを更新しました。

2022.2.3
認証標準物質 NMIJ CRM 5207-a タングステンドットアレイの活用事例紹介
タングステンドットアレイCRMを用いた共焦点ラマン分光顕微鏡の横分解能の高信頼評価 (Analytical Sciences誌) (伊藤(有機基準物質研究グループ)、羽成(有機組成標準研究グループ))

2021.12.16
ヒト肝細胞癌HepG2細胞における生体性セレン化水銀ナノ粒子の形成メカニズムと毒性学的意義 (Chem. Res. Toxicol.誌)(共著:熊谷・小林)

2021.12.6
半導体リソグラフィ技術評価のためのラインエッジラフネス計測 (NMIJニュースレター第14号 4ページ)(木津・三隅)

更新履歴

Topics

お問い合わせの多い段差校正について簡単にまとめました。

方式 光学式 AFM方式 触針式
校正範囲 20 nm - 500 nm 10 nm - 2,500 nm 500 nm - 10,000 nm
試料サイズ 25 mm x 25 mm x 7 mm以下 20 mm x 20 mm x 4 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
段差パターン幅 0.03 mm以上、0.1 mm以下 0.033 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
パターン配置 図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等
図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等
図のとおり
材質 表面の光学定数が同一であるもの シリコン基板、ガラス基板など -
備考 工学計測標準研究部門が担当。校正範囲外の段差も技術コンサルで対応可能。要相談。 針で試料を破損する可能性あり。
一箇所につき3ヶ月必要
工学計測標準研究部門が担当。針で試料を破損する可能性あり