Nanodimensional Standards Group

産総研
ナノ構造計測標準研究グループ
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター 物質計測標準研究部門

last updated 2024.7
What's New

2024.7.18

木津がInternational Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM 2024) におきましてYoung Researcher Awardに表彰されました 写真

2024.4.8
第53回情報計測オンラインセミナー「半導体微細パターンのラフネス形状計測とノイズを含むデータの解析」(木津)

2024.1.31
単細胞藻類 Pseudococcomyxa simplex におけるヘキサクロロ白金(IV)イオンの取り込みと蓄積機構 (Metallomics誌)(共著:熊谷)

2023.12.8
電子ビーム誘起収縮によるフォトレジスト側壁粗さの変化の原子間力顕微鏡を用いた評価 (J. of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology)(木津・三隅)

2023.10.31
300 kV での透過電子顕微鏡による格子イメージングに使用可能な Si の試料厚さの実験的評価 (Ultramicroscopy誌)(小林・木津)

2023.10.12
メンバーページのリンクを修正しました。

2023.10.2
人事異動によりメンバーを更新しました。

2023.9.13
超低エネルギー走査電子顕微鏡における0 eV付近着地エネルギーでのコントラスト機構 (Microscopy誌)(共著:熊谷)

2023.7.19
自己アフィンフラクタルの粗さ測定におけるホワイトノイズの影響 (Measurement Science and Technology誌)(木津・三隅)

更新履歴

Topics

●お持ちのSEMをSIトレーサブルに (NMIJ 認証標準物質 カタログ)

●お問い合わせの多い段差校正について簡単にまとめました

方式 光学式 AFM方式 触針式
校正範囲 20 nm - 500 nm 10 nm - 2,500 nm 500 nm - 10,000 nm
試料サイズ 25 mm x 25 mm x 7 mm以下 20 mm x 20 mm x 4 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
段差パターン幅 0.03 mm以上、0.1 mm以下 0.033 mm以下 市販の粗さ標準片と同程度
パターン配置 図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等
図のとおり。
測定箇所がわかるようなマーカー等
図のとおり
材質 表面の光学定数が同一であるもの シリコン基板、ガラス基板など -
備考 工学計測標準研究部門が担当。技術コンサルティング制度による測定レポート。 針で試料を破損する可能性あり。
一箇所につき3ヶ月必要
工学計測標準研究部門が担当。JCSS校正事業者様で対応できない試料限定。針で試料を破損する可能性あり。