更新履歴
2025.4
ホームページのデザインを変更しました。人事異動によりメンバーを更新しました。
2025.3.31
超音波処理により調製した水性粒子/界面活性剤懸濁液システムの分散機構に対する界面活性剤濃度の影響 (Powder Technology誌)(加藤・中村)
2025.3.12
木津がSurface Topography: Metrology and Properties誌, IOP PublishingにおきましてOutstanding Reviewer Awards 2024に表彰されました
2025.1.30
イットリア膜の破壊電界強度を実験的スケーリング則を超えて高める戦略 (Materials Horizons誌)(共著：熊谷)
2024.9.24
マイクロライン構造を用いた3DX線顕微鏡の倍率校正 (Microscopy誌)(東・熊谷)
2024.7.18
木津がInternational Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM 2024)におきましてYoung Researcher Awardに表彰されました
2024.4.8
第53回情報計測オンラインセミナー「半導体微細パターンのラフネス形状計測とノイズを含むデータの解析」(木津)
2024.2.16
XPSによるHfO2超薄膜の正確な厚さ測定に不可欠な基準強度比の実験的決定 (Surface and interface analysis誌)(張・東)
Topics:お問い合わせの多い項目について
SEMをSIトレーサブルに (NMIJ 認証標準物質 カタログ)
段差校正・測定
| 方式 | 光学式 | AFM方式 | 触針式 |
|---|---|---|---|
| 校正範囲 | 20 nm - 500 nm | 10 nm - 2,500 nm | 500 nm - 10,000 nm |
| 試料サイズ | 25 mm x 25 mm x 7 mm以下 | 20 mm x 20 mm x 4 mm以下 | 市販の粗さ標準片と同程度 |
| 段差パターン幅 | 0.03 mm以上、0.1 mm以下 | 0.033 mm以下 | 市販の粗さ標準片と同程度 |
| パターン配置 | 図のとおり。 測定箇所がわかるようなマーカー等 |
図のとおり。 測定箇所がわかるようなマーカー等 |
図のとおり |
| 材質 | 表面の光学定数が同一であるもの | シリコン基板、ガラス基板など | - |
| 備考 | 工学計測標準研究部門が担当。技術コンサルティング制度による測定レポート。 | 針で試料を破損する可能性あり。 一箇所につき3ヶ月必要 |
工学計測標準研究部門が担当。JCSS校正事業者様で対応できない試料限定。針で試料を破損する可能性あり。 |
＊製造元での再校正を推奨します