原子間力顕微鏡 AFM
原子間力顕微鏡法 (AFM) の原理
AFM（走査型プローブ顕微鏡）は、 微小な探針で表面をなぞることで形状や物性解析を行います。 ナノ粒子計測では、 ナノ粒子の基板固定から AFM 測定、データ解析までを行います。
1. ナノ粒子計測プロトコル
2. AFM 測定構成図
3. 測定システム例
AFM の特徴と測定事例
1. AFM の特徴
AFM（走査型プローブ顕微鏡）は、 その原理から下記のような特徴を持っています。
- 大気中で測定できる。
- シングル nm の粒子まで高分解能で測定できる。
- 粒子表面の微細構造が観測できる。
- 連なった粒子も粒子径を求められる。
- 大きさの異なる（多峰）粒子も測定できる
- 個数基準測定であり、１個１個の粒子の３次元形状が測定できる。
- 材質の異なる粒子の分離計測ができる。
2. 測定事例
測定事例として、 PSL(ポリスチレン）70 nm と 100 nm 粒子の 1:1 混合サンプルの測定結果を紹介します。
