体験講座のご案内
ミニマルフォトリソ体験講座－リソグラフィー装置を用いて－

　ミニマルファブとは、半導体デバイスを直径1/2インチ（12.5 mm）のウェハに一品作りするための装置群であり、オリジナルのIoTデバイス等の開発・試作にも有用な設備です。中でも「リソグラフィー」はIoTデバイス作製の要素技術ともいえる基本プロセスです。
　産総研九州センターでは、ミニマルファブを用いた「リソグラフィ」の実習を行う『ミニマルファブ体験講座』を開講しています。
本講座は、ミニマルファブの概要を理解していただくとともに、ミニマルファブ装置の基本操作を習得していただくことを目的としています。

ご興味のある方は上記リンクよりお申し込み・お問い合わせください。