題目
Low-Temperature Graphene Growth by Forced Convection of Plasma-Excited Radicals
受賞者
電子光基礎技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ 金載浩
製造技術研究部門 積層加工システム研究グループ 板垣宏知
電子光基礎技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ研究グループ長 榊田創
受賞理由
上記の論文は優秀なものであり、プラズマエレクトロニクスの発展に寄与するところ極めて大であるため。
Low-Temperature Graphene Growth by Forced Convection of Plasma-Excited Radicals
電子光基礎技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ 金載浩
製造技術研究部門 積層加工システム研究グループ 板垣宏知
電子光基礎技術研究部門 先進プラズマプロセスグループ研究グループ長 榊田創
上記の論文は優秀なものであり、プラズマエレクトロニクスの発展に寄与するところ極めて大であるため。