工学計測標準研究部門

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  • 液中ひょう量装置と圧力浮遊装置

  • 磁気浮上密度計による密度標準液の校正(左)・海水密度測定のための液中秤量装置(右)

  • 作動流体のPVT性質測定装置

  • 液体屈折率測定のためのレーザー干渉計

  • ガスサンプルの音速・誘電率測定に用いる音波・電磁波空洞共振器(左:擬似球型,右:円筒型)

  • バイオ燃料など不安定液体サンプルの密度測定システム(左:グローブボックス,右:振動式密度計)

  • 細管式標準粘度計(マスター粘度計)による粘度校正装置(左:マスター粘度計群、右:恒温槽)

  • 落球法に基づく粘度絶対測定のための落球実験装置(左)、およびシリンダーバランス法による非ニュートン粘度校正装置(右)

  • MEMS粘性センサー(左:センサーヘッド、右:測定システム)

固体密度や流体の密度、液体の屈折率、粘度、および関連する流体物性に関する標準の設定、供給範囲の拡張や高精度化などの計測・校正技術の開発を行う。開発した測定技術に基づき高精度で信頼性の高いトレーサビリティ体系を構築し、これらに基づいた標準供給や流体物性の計測・評価を行う。以上の取り組みを通じて、広範な産業分野で求められる材料の製造工程・品質の管理における信頼性確保と物性計測・評価に基づく高度利用に貢献する。

研究テーマ

  1. 密度標準の開発:単結晶シリコン球体の密度を基準とした密度・密度差の精密比較校正技術を開発し、標準供給、薄膜密度計測、固体材料評価、海水密度標準開発等へ展開しています。

  2. 作動流体の熱物性評価: PVT性質、音速等の熱力学性質の高精度測定技術を開発し、省エネ分野で要求の高い冷媒等の新規作動流体の評価を行っています。

  3. 屈折率標準の開発:光波干渉や光コム技術を応用した高精度計測技術を開発し、標準供給や地球環境モニタリング分野へ展開しています。

  4. 次世代計量標準開発:シリコン結晶の格子定数分布評価、音響・電磁波共鳴、微小力・質量の計測などのSI単位改訂にかかわる計測技術の開発に貢献します。

  5. 粘度標準の開発:基準となる水の粘度との比較校正法による標準供給とともに、新たな基準点設定を目指した絶対測定や非ニュートン粘性標準の開発を行っています。

  6. MEMSセンサー開発:MEMS技術に基づいた微小センサーを開発し、様々な応用に向けた実用化を目指した実証研究を展開しています。

連絡先

グループリーダ:

E-mail: <at> aist.go.jp

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