Equipments装置紹介
ポストプロセス観察評価装置
レーザー加工を行った後の加工部の観察を行い、品質を評価するための装置です。
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共焦点レーザー・白色干渉顕微鏡 ・加工表面の三次元形状プロファイルや表面粗さをサブミクロンの高さ精度で測定できる装置です。
・レーザー散乱光と共焦点配置により高さ情報を得る共焦点レーザー顕微鏡と白色光の干渉により高さ情報を得る白色干渉顕微鏡の両方を一台で兼ね備えた装置です。 -
顕微紫外可視近赤外分光光度計 ・紫外・可視・近赤外波長域の光に対する透過スペクトル・反射スペクトルを測定する装置です。
・対物レンズを介した照射により、微小な加工部位の光学特性の測定が可能です。
・表面状態の変化や内部欠陥形成を評価するのに適しています。 -
デジタルマイクロスコープ ・顕微鏡の観察像をデジタル画像として取得できる装置です。
・ステージ移動、フォーカシング、倍率変更、照明パターン選択など操作性に優れており、加工部位の簡易的な観察評価に便利です。
・連結画像生成も可能で、広域の加工部位の観察にも適しています。 -
偏光蛍光顕微鏡 ・偏光子により複屈折情報を得ることができる顕微鏡で、レーザー加工により透明材料内部に付与された内部応力の情報を得ることができます。
・また、励起光とフィルターが搭載されており、蛍光試料の観察分析にも適しています。 -
走査電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析装置(SEM-EDX) ・加工部位の表面のサブミクロンレベルの微細な構造を観察するための装置です。
・レーザー加工により表面に形成された微細構造や熱影響による溶融痕やクラックなどを評価するのに適しています。
・EDXでは成分元素の比率を同定することも可能です。
インプロセス計測装置
製造工程において加工物の計測評価を行う装置です。ポストプロセスの評価にも使用可能です。
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レーザー誘起ブレークダウン分光装置 (LIBS) ・接着表面の汚染（油分や離型剤など）は接合強度の大幅な低下を引き起こすため、被着体表面の汚染を接着前にモニタリングする手法が求められています。
・レーザーを被着体表面に照射し、試料表面で発生するプラズマ発光を分光計測することにより、汚染物質の構成原子を高感度で検出し同定することのできる手法です。
