積層ガラスの断面試料作製
事例No.
AC-0038
概要
クライオイオンスライサー装置を用いて、積層ガラスの断面試料を作製する。
お困りごと・要望
ガラス基材表面の機能層の構造解析のための断面試料を作製したい
事例提供機関
サンプル
積層ガラス（Low-emissivelyガラス）
分析方法
クライオイオンスライサー
分析結果
樹脂包埋した積層ガラス試料の切り出しおよび研磨を行った後、イオンビームによる断面作製を実施した。加工試料のSEM(EDX)観察から、積層ガラス表面の機能層は金属と無機材が交互に積層した計６層から構成されていると判明した。
関連装置
クライオイオンスライサー装置（Jeol製IB-09060CIS）
コメント
ミクロトームでは硬くて加工できない材料を、試料冷却（-120℃）により低ダメージで、断面・薄片化加工できます。
適用可能な材料
複合樹脂材料（無機フィラー含有系）、半導体、ガラスなど