宮城県仙台市にある材料開発拠点

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走査電子顕微鏡

特長・おすすめポイント!

  • 使いやすく高分解能に加え、STEM検出器により透過撮影に対応
  • 元素マッピング分析(EDX)や複数検出器を用いた多様な観測に対応

装置情報

概要

簡単な操作で固体表面を高倍率かつ高深度に撮影できる顕微鏡(SEM)で、直径15cmまでの試料に対応可能です。

形式SU8600
メーカー日立ハイテク
仕様
二次電子分解能
0.6 nm@15 kV
倍率
20~2,000,000 x
加速電圧
0.5~30 kV
検出器
Upper、Lower 、Top、反射電子検出器、STEM
エネルギー分散型X線検出器 (EDS)装備
検出可能元素範囲
リチウムからビスマス
搭載試料サイズ
最大 Φ150 mm
[キーワード]
固体表面、高倍率・高深度撮影、元素、測定、直径15cmまでの試料に対応

ナノマテリアル試作・評価プラットフォーム(NEPP)に関するお問合せ

国立研究開発法人産業技術総合研究所 東北センター
ナノマテリアル試作・評価プラットフォーム事務局

〒983-8551宮城県仙台市宮城野区苦竹4-2-1
Eメール:M-nepp-tohoku-ml*aist.go.jp(*を@に変更して送信下さい。)