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ナノマテリアル試作・評価プラットフォーム
Nanomaterial Evaluation and Prototyping Platform

構造解析

走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡イメージ
超高分解能・高コントラストな電子顕微鏡です
用途低加速電圧、高分解能観察、高速元素マッピング
形式SU8600
メーカー日立ハイテク
仕様
二次電子分解能0.6 nm@15 kV
倍率20～2,000,000 x
加速電圧0.5～30 kV
検出器Upper、Lower 、Top、反射電子検出器、STEM
エネルギー分散型X線検出器 (EDS)装備
検出可能元素範囲リチウムからビスマス
搭載試料サイズ最大 Φ150 mm