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ナノマテリアル試作・評価プラットフォーム
Nanomaterial Evaluation and Prototyping Platform

ガスバリア性評価

ヘリウム透過率測定装置

ヘリウム透過率測定装置イメージ
膜のガスバリア性を測定します
用途膜材料のヘリウムガス透過特性の測定
形式M-222LD
メーカーキャノンアネルバ
仕様
定量測定範囲10-12～10-3Pa･m3/s
インレットポート排気速度(He)1.8 L/sec (Gross Mode)
メインポンプターボ分子ポンプ （排気速度　50 L/s ）
粗引きポンプ油回転ポンプ　（ 236 L/min）
外部インターフェースRS-232C、アナログ出力２点