センシングデバイス研究グループ

名前 役職等 拠点
上沼 睦典
UENUMA Mutsunori		 研究グループ長 九州
上原 雅人
UEHARA Masato		 上級主任研究員
Anggraini Sri Ayu 主任研究員
蔭浦 泰資
KAGEURA Taisuke		 主任研究員
上杉 祐貴
UESUGI Yuuki		 主任研究員
大園 満
OZONO Mitsuru		 招聘研究員
窒化物やダイヤモンドなどの先端材料を利用して、磁場センサ・固体量子センサ・次世代弾性波フィルタ・強誘電体デバイス・ガスセンサなどの デバイス研究開発に取り組んでいます。 また、半導体後工程への応用に向けたレーザー加工技術や、ナノ計測を支える電子顕微鏡の高度化にも取り組んでいます。さらに、半導体デバイス において低欠陥界面を実現する成膜技術や半導体製造に不可欠な化学機械研磨技術などのプロセス技術開発も進めています。

センサの可能性を拓く先端材料・デバイス・プロセス技術

キーワード

窒化物、ダイヤモンド、ガスセンサ、半導体界面、CMP

ハイライト

・次世代高周波フィルタや不揮発性メモリに向けた窒化物圧電・強誘電薄膜の開発
・ダイヤモンド中のスピン欠陥を利用した高感度・高空間分解能な量子センサの開発
・対象ガスを高精度かつ高信頼で検知する先進的センシング材料の開発
・半導体MOS構造の欠陥センシングと界面層の原子レベル評価技術の開発
・レーザー加工技術と、ナノ計測を支える電子顕微鏡高度化技術の開発
→詳細

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