生産プロセス評価研究チーム
チームメンバー
| 名前 | 役職等 | 拠点 |
|---|---|---|
| 田原 竜夫 TABARU Tatsuo |
研究チーム長 | 九州 |
| 長瀬 智美 NAGASE Toshimi |
主任研究員 | |
| 志岐 成友 SHIKI Shigetomo |
主任研究員 兼務）量子・AI融合ビジネス開発グローバル研究センター 量子ハードウェアコンポーネント研究開発チーム [チーム付] |
|
| 本村 大成 MOTOMURA Taisei |
主任研究員 | |
| 石田 秀一 ISHIDA Shuichi |
主任研究員 （休職中） |
研究目標
半導体製造、機械加工、素材関連など幅広い分野を対象に、大きなコストをかけずに製造技術の質の向上を目指すセンサシステム技術の開発に取り組んでいます。
従来見落とされてきたプロセス異常やその兆候となる事象の発生を検知・診断するために、圧電センサや解析技術の研究を進め、実環境での評価実証に努めています。
センサ等の少量生産に対応するための小型プラズマ源の研究にも取り組んでいます。
従来見落とされてきたプロセス異常やその兆候となる事象の発生を検知・診断するために、圧電センサや解析技術の研究を進め、実環境での評価実証に努めています。
センサ等の少量生産に対応するための小型プラズマ源の研究にも取り組んでいます。
保有技術
準備中
重点研究
主要特許・論文
準備中