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生産プロセス評価研究チーム

チームメンバー

名前 役職等 拠点
田原 竜夫
TABARU Tatsuo
研究チーム長
兼務)九州センター 所長代理
九州
長瀬 智美
NAGASE Toshimi
主任研究員
志岐 成友
SHIKI Shigetomo
主任研究員

兼務)量子・AI融合ビジネス開発グローバル研究センター 量子ハードウェアコンポーネント研究開発チーム [チーム付]
本村 大成
MOTOMURA Taisei
主務) 九州センター [産業技術企画調査員]
兼務)生産プロセス評価研究チーム [研究チーム付]
武井 裕樹
TAKEI Yuki
研究員
石田 秀一
ISHIDA Shuichi
主任研究員
(休職中)

研究目標

半導体製造、機械加工、素材関連など幅広い分野を対象に、大きなコストをかけずに製造技術の質の向上を目指すセンサシステム技術の開発に取り組んでいます。
従来見落とされてきたプロセス異常やその兆候となる事象の発生を検知・診断するために、圧電センサや解析技術の研究を進め、実環境での評価実証に努めています。
センサ等の少量生産に対応するための小型プラズマ源の研究にも取り組んでいます。

保有技術

準備中

重点研究


fig1

主要特許・論文

準備中