振動分野 ホモダイン式およびヘテロダイン式レーザ干渉計の位相シフト校正を利用した電気光学変調器（EOM）の時間遅れに関する検討 -加速度センサの20 kHzまでの位相シフト校正- レーザ干渉計によるハイデマン補正なしでの振動計測 振動校正における正弦波近似信号処理の改善による繰り返し不確かさ低減