その他分析装置
| 走査型電子顕微鏡 (JEOL製, JSM-6510) 仕様： 加速電圧：0.5-30kV 倍率： x5-x300000 X, Y軸移動：80, 40mm ﾜｰｷﾝｸﾞﾃﾞｨｽﾀﾝｽ：5-48mm 傾斜：-10から+90°、回転：360° EDAX: 4Be-92U (ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型） 2次電子像、反射電子像、元素ﾏｯﾋﾟﾝｸﾞ 評価物性： 表面観察、元素分析 |
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| プロファイラー (Bruker製, Dektak) 仕様： 触針式プロファイラー 試料サイズ：長さ8inch以下、 厚さ：50mm未満 測長精度：0.008μm XYステージ再現性：2μm 垂直最大レンジ:1mm 段差再現性：0.4nm for 1mm段差 評価物性： 表面形状評価 |
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| レーザー顕微鏡 (キーエンス製, VK8710) 仕様： 波長：658nm 高さ分解能：0.01μm 高さ測定範囲：7mm 評価物性： 表面観察 |
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| エックス線回折装置 (RIGAKU製, UltimaVI) 仕様： 管球式X線源Cu-Kα 垂直型ゴニオメーター 評価物性： 結晶構造解析 |
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