薄膜の厚さ方向の熱拡散時間が値付けされた薄膜標準物質が入手できるようになりました。 厚さ約680 nmの窒化チタン薄膜が石英ガラス基板上に成膜されたものです。 膜中央には厚さ測定用のパターンがありますので、熱拡散率に直して使うこともできます。
熱拡散時間標準薄膜（RM1301-a）
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