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産友会メールマガジン第58号 【MEMS（マイクロ電子機械システム）関連技術】

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　　　産総研中国センター友の会（産友会）メールマガジン
　　　　　　　　【第58号/　2016.10.31発行】
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【特集：MEMS（マイクロ電子機械システム）関連技術】
今年のノーベル化学賞は「分子機械」でした。将来的には、「化学合成」した部品や「機械」を組み込んだデバイスが活躍する時代がやってくるのかも知れませんね。いずれにしても、学問分野の境界がますます曖昧になってきていることを示す驚くべき受賞でした。
 
（報告書、記事等）
■計量・計測システム分野
日本のMEMS産業の国際競争力維持･強化及び革新的なMEMSデバイスの創出に必要とされる､高機能化､小型化､低コスト化､異分野融合等のMEMS製造技術を俯瞰し､要素技術を抽出するとともに､今後の技術の発展をロードマップとして描いたものです｡
 
（産総研関係）
■集積マイクロシステム研究センター
低炭素・安心安全社会の実現を目指し、微細加工を利用したマイクロ電子機械システム（MEMS）の製造技術とその応用に関する研究を行っています。
 
■微細構造の毛細管力を利用した超高精細・厚膜印刷技術を開発　－透明性が高く応答の速いタッチパネルや、次世代装飾印刷への応用に期待－
産総研は、ナノインプリントとスクリーン印刷を融合し、従来と同じ印刷原版を用いて、原版パターンの1/30以下に細線化できる超微細印刷技術を開発しました。
 
■安心・安全・高効率なフローリアクターの実現　－産総研のシーズ技術を発展させフローリアクターを大型化－
産総研などは、12 cm x 18 cmのサイズのフローリアクターを開発しました。8インチMEMSプロセスを用いて、産総研のシーズ技術であるマイクロリアクターを12 cm x 18 cmまで大型化しました。
 
■常温大気中で金属同士を接合する技術を開発　－犠牲層薄膜除去プロセスにより超平滑表面を形成－
産総研は、超平滑表面を持つ犠牲層薄膜上にメッキによりパターンを形成した後、犠牲層薄膜を除去して、超平滑メッキ表面を形成する技術を開発しました。高強度・高信頼性MEMS封止やMEMS・IC集積化のための新しいプロセス技術です。
 
■圧電MEMSデバイスを大口径ウエハー上に作製するプロセス技術を開発　－実用レベルの圧電定数をウエハー全面で実現－
産総研などは、圧電薄膜であるチタン酸ジルコン酸鉛（Pb(Zr,Ti)O3、PZT）薄膜を用いた圧電MEMSデバイスの200 mmウエハープロセス技術を開発しました。歩留まり低下の原因となる粗大粒子の生成を大幅に低減しました。
 
■レプリカ成形技術を用いた低コストMEMS製造技術　－樹脂MEMSデバイスの新用途の創出に期待－
産総研は、印刷技術と射出成形だけを用いるMEMSデバイスの製造技術を開発しました。今回開発した技術では、真空プロセスを使わず大面積デバイスの作製が可能な印刷技術と、設備投資が少なく製造コストも低い射出成形技術による、MEMSデバイス製造を可能としました。
 
■つくばイノベーションアリーナ推進センター　MEMS研究開発拠点
MEMSに関連する企業や大学が集結して共同研究や実証開発によるオープンイノベーションを推進する場を提供しています。
 
（学会、その他）
■一般財団法人マイクロマシンセンター
マイクロマシン・MEMS等のナノマイクロ分野における基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを行っています。
 
■応用物理学会　集積化MEMS技術研究会
MEMSとLSI両技術分野の融合と新たなテーマに向けた研究活動の場を提供しています。
 
■高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト
今後成長が期待される市場である自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等において必要不可欠となる、小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスを製造する技術開発を目的として、平成18～20年度に実施されたプロジェクトです。
 
■MEMSパークコンソーシアム
産学官の連携により、国内外の研究開発支援組織とのネットワークを構築し、MEMSを中心としたマイクロデバイス分野の新しい技術を用いた市場の開拓に取り組むことで、新たな産業を創出していくことを目的とする任意団体です。
 
■最先端研究開発支援プログラム　マイクロシステム融合研究開発
微細CMOS集積回路と異種要素を一体化するヘテロ集積化により、集積回路の高付加価値化を目指し、国にとって喫緊の課題である産業競争力の強化および先端医療等に資する、マイクロシステム融合技術を開発することを目的としたプロジェクトです。
 
■MEMS技術の課題と展望
MEMS技術実用化の経緯、および集積化MEMSの例について述べた後、MEMSの実用化を支援するオープンコラボレーションを紹介しています。
 
■最近のMEMS　人材育成のためのMEMS集中コース in 豊橋
MEMS業界の概況、各種のセンサやジャイロなどが紹介されています。
 
■立命館大学　先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター
MEMSを中心としたマイクロ・ナノ領域の研究を通して、「安全・安心な社会」「低環境負荷社会」を実現する次世代のマイクロ・ナノデバイスの創出を目指しています。
 
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