集積マイクロシステム研究センター

研究センターパンフレット(PDF: 5616KB)

新着記事

2019年9月5日	報道情報	「単結晶ダイヤモンド放熱基板を用いたマルチセル構造のGaN-HEMT」に関する記事が日本経済新聞電子版（9/2）他に掲載されました。（詳細）
2019年9月2日	プレスリリース （三菱電機株式会社）	三菱電機株式会社と当センターの共同研究による「単結晶ダイヤモンド放熱基板を用いたマルチセル構造のGaN-HEMT」に関するプレスリリースが行われました。 （詳細：http://www.mitsubishielectric.co.jp/news/2019/0902.html[外部リンク]）
2019年7月2日	報道情報	「低反射率で耐久性の高い偏光シートを印刷技術で実現」に関する記事が日刊産業新聞（7/2）他に掲載されました。（詳細）
2019年7月1日	プレスリリース	低反射率で耐久性の高い偏光シートを印刷技術で実現 −従来のワイヤーグリッド偏光素子の反射率を1/10以下に低減−
2019年6月10日	プレスリリース	着るだけで心電図計測ができるスマートウエア −体の動きで生じるノイズを新設計手法で克服−
2019年6月3日	イベント・講演会	The 10th Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS (7月16日〜18日)を開催します。（詳細）
2019年5月24日	受賞	MEMS集積化プロセス研究チームの松前貴司研究員が2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2019).国際会議でBest Poster Presentation Awardを受賞しました。 「Hydrophilic direct bonding of monocrystalline (111) diamond substrate onto Si wafer」 松前貴司、倉島優一、梅沢仁、高木秀樹
2019年5月22日	報道情報	「薬品処理と低温加熱だけでダイヤモンド基板の原子レベルの接合を可能に」 に関する記事が電気新聞（5/22）他に掲載されました。（詳細）
2019年5月20日	プレスリリース	薬品処理と低温加熱だけでダイヤモンド基板の原子レベルの接合を可能に −ダイヤモンドを用いたパワー半導体の実現を推し進め、省エネルギー社会に貢献−
2019年4月1日		センシングシステム研究センターの設立に伴いチーム編成を行いました。
2019年3月12日	受賞	光マイクロナノシステム研究チームの東颯人RA（リサーチアシスタント）が第32回エレクトロニクス実装春季講演大会でポスターアワードを受賞しました。 「厚さ数十ナノメートルの平滑なチタン薄膜を用いた大気中ウェハ接合技術の開発」 東颯人、日暮栄治、須賀唯知
2019年3月12日	受賞	MEMS集積化プロセス研究チームの松前貴司研究員が第32回エレクトロニクス実装春季講演大会で研究奨励賞を受賞しました。 「脱ガスアニールを行った金薄膜の低温接合によるMEMS封止技術」 松前貴司、倉島優一、日暮栄治、高木秀樹
2019年2月19日	報道情報	「プラモデルのように組み立てる超薄型（５マイクロメートル）半導体ひずみセンサチップ」 に関する記事が日刊工業新聞（2/19）他に掲載されました。（詳細）
2019年2月14日	プレスリリース	プラモデルのように組み立てる超薄型（５マイクロメートル）半導体ひずみセンサチップ −次世代型高性能フレキシブルデバイスの機械構造設計、精密組み立て技術−
2018年11月21日	受賞	光マイクロナノシステム研究チームの山本道貴RA（リサーチアシスタント）がIEEE CPMT Symposium Japan (ICSJ) 2018国際会議で Early Career Researcher Session Award を受賞しました。（詳細） 「Surface analysis of argon and oxygen plasma-treated gold for room temperature wafer scale gold-gold bonding」 山本道貴、松前貴司、倉島優一、高木秀樹、須賀唯知、伊藤寿浩、日暮栄治
2018年11月12日	受賞	MEMS集積化プロセス研究チームの尹成圓主任研究員 他2名がThe 5th International Conference & Exhibition for Nanotechnology（NANOPIA 2018）国際会議で Best Oral Presentation Award を受賞しました。 「Control of pattern capacity in nanoimprint mold by adding 2D/2.5D patterns to obtain uniform residual layer」 尹成圓、鈴木健太、廣島洋
2018年11月2日	報道情報	日経産業新聞（11/1付 5面）で「筋音による筋肉の定量的評価」に関する研究成果が紹介されました。　（詳細）
2018年11月1日	受賞	社会実装化センサシステム研究チームの竹下俊弘研究員が第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで優秀ポスター発表賞を受賞しました。 「静電植毛電極を用いた心電図測定における接触圧力とモーションアーティファクトの関係」 竹下俊弘、吉田学、檜顕成、大内篤、内田広夫、小林健
2018年11月1日	受賞	光マイクロナノシステム研究チームの山本道貴RA（リサーチアシスタント）が第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで奨励賞を受賞しました。 「極薄Au薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討」 山本道貴、松前貴司、倉島優一、高木秀樹、須賀唯知、伊藤寿浩、日暮栄治
2018年10月15日	受賞	MEMS集積化プロセス研究チームの松前貴司研究員が234th Meeting of The Electrochemical Society (ECS)国際会議で Best Paper Award を受賞しました。 「Room Temperature Bonding of Electroformed Cu Based-Heat Spreader in Atmospheric Air」 松前貴司、倉島優一、高木秀樹
2018年10月12日	報道情報	「AIによる土石流検知センサーシステム」に関する記事が日刊工業新聞（10/11）他に掲載されました。　（詳細）
2018年10月12日	採用情報	契約職員採用情報 (No.30-umemsme_0011) 産総研リサーチアシスタント1名 （社会実装化センサシステム研究チーム）　公募は終了しました
2018年10月11日	イベント・講演会	MEMS センシング＆ネットワークシステム展（10月17日〜19日）が開催されます。（詳細）
2018年10月10日	プレスリリース	AIによる土石流検知センサーシステム −安価なセンサーの複数配置で真の土石流だけを検知−
2018年9月12日	採用情報	契約職員採用情報 (No.30-umemsme_0010) テクニカルスタッフ2名 （化学バイオ流体デバイス研究チーム）　公募は終了しました
2018年8月28日	報道情報	月刊テレコミュニケーション2018年9月号（No.410, P24）で生体用インプラント型無線センサに関する研究成果が紹介されました。　（詳細）
2018年7月13日	イベント・講演会	産総研つくばセンター一般公開(7月21日) に当センターでは1件を出展します。（詳細）
2018年7月13日	イベント・講演会	The 9th Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS (7月13日〜15日)を開催します。（詳細）
2018年6月28日	採用情報	契約職員採用情報 (No.30-umemsme_0007) 産総研リサーチアシスタント1名　公募は終了しました
2018年6月1日	受賞	IoT無線MEMSシステム研究チームの魯健主任研究員 他4名がALLSENSORS 2018（The Third International Conference on Advances in Sensors, Actuators, Metering and Sensing）国際会議で Best Paper Award を受賞しました。 「Scale-down and Package of Wireless Sensor Nodes for Biotelemetry」 魯健、張嵐、松本壮平、廣島洋、前田龍太郎
2018年5月17日	報道情報	日刊工業新聞で連載中の「技術で未来拓く 産総研の挑戦」（5/17付 22面）に高木総括研究主幹によるウエハー接合技術に関する記事が掲載されました。　（詳細）
2018年4月1日		チームを再編しました。
2018年3月6日	受賞	MEMSプロトタイプ研究チームの鈴木健太研究員が、第31回エレクトロニクス実装学会春季講演大会において奨励賞を受賞しました。  「気泡欠陥防止のためのハイドロフルオロオレフィンガス雰囲気下でのUVナノインプリント技術」 鈴木健太
2018年1月10日	採用情報	契約職員採用情報 (No.30-umemsme_0001) 産総研リサーチアシスタント1名 公募は終了しました、（No.30-umemsme_0002）産総研リサーチアシスタント1名（MEMSプロトタイプ研究チーム） 公募は終了しました
2017年11月2日	受賞	社会実装化センサシステム研究チームの竹下俊弘研究員 他3名が電気学会第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで優秀ポスター賞を受賞しました。 「フレキシブル基板上に実装された極薄MEMS光スキャナデバイス」 竹下俊弘、 山下崇博、牧本なつみ、小林健
2017年9月8日	イベント・講演会	MEMS センシング＆ネットワークシステム展（10月4日〜6日）が開催されます。（詳細）
2017年7月31日	採用情報	契約職員採用情報 (No.29-umemsme_0002) 産総研特別研究員1名 （ＭＥＭＳプロトタイプ研究チーム）　公募は終了しました
2017年7月14日	イベント・講演会	産総研つくばセンター一般公開(7月22日) に当センターでは1件を出展します。（詳細）
2017年5月16日	プレスリリース	不揮発性磁気メモリーMRAMの3次元積層プロセスを開発 −新世代単結晶MRAM製造の可能性を拓く−
2017年4月12日	報道情報	「橋梁のひずみ分布をモニタリングできるセンサーシート」に関する記事が日刊工業新聞（4/12）他に掲載されました。（4/25 追記あり）　（詳細）
2017年4月11日	プレスリリース （NEDO）	新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から、大日本印刷（株）と当センターによる「橋梁のひずみを高感度に計測するフレキシブルセンサー」に関するプレスリリースが行われました。 （詳細：http://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_100751.html?from=nedomail[外部リンク]
2017年4月11日	プレスリリース	橋梁のひずみ分布をモニタリングできるセンサーシートを開発 −貼るだけで橋梁の劣化状態を把握できるフレキシブル面パターンセンサー−
2017年2月8日	報道情報	日経テクノロジーonline（2/7付）で「インフラ監視用圧電MEMSセンサー」に関する研究成果が紹介されました。　（詳細）
2017年1月11日	プレスリリース （国土技術政策総合研究所）	国土技術政策総合研究所と当センターの共同研究による「土砂災害検知センサー」に関するプレスリリースが行われました。 （詳細：http://www.nilim.go.jp/lab/bcg/kisya/journal/kisya20170111.pdf[外部リンク]）
2016年11月17日	報道情報	「微細構造の毛細管力を利用した超高精細・厚膜印刷技術」に関する記事がプラスチックスエージ（Vol. 62、2016年11月号24ページ）に掲載されました。　（詳細）
2016年9月20日	報道情報	日刊工業新聞（9/19付14面）および同電子版（9/19付）に、当センターと芝浦工業大学・茨城大学の協力による「小型ガス分離デバイス」に関する記事が掲載されました。　（詳細）
2016年9月14日	報道情報	「微細構造の毛細管力を利用した超高精細・厚膜印刷技術」に関する記事が化学工業日報（9/13）他に掲載されました。　（詳細）
2016年9月12日	プレスリリース	微細構造の毛細管力を利用した超高精細・厚膜印刷技術を開発 −透明性が高く応答の速いタッチパネルや、次世代装飾印刷への応用に期待−
2016年7月8日	イベント・講演会	産総研つくばセンター一般公開(7月23日) に当センターでは1件を出展します。（詳細）
2016年6月22日	イベント・講演会	MEMS センシング＆ネットワークシステム展（9月14日〜16日）が開催されます。（詳細）
2016年4月18日	採用情報	契約職員採用情報 (No.28-umemsme_0004、0005) テクニカルスタッフ2名 （ウエアラブルIoT研究チーム）　公募は終了しました
2016年4月14日	イベント・講演会	The 7th Japan-China-Korea joint seminar on MEMS/NEMS (9月21日〜23日)を開催します。（詳細）

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