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グリーン再生に向けて −製造装置の省エネ−(第1回) 

 
3月11日以降、世の中の境界条件は変わりました。待ったなしのグリーン社会が到来したのです。
われわれは、研究活動の質を落とさずに、電力消費量が大きいクリーンルームのピーク時の
消費電力を、従来に比べて3割以上削減していきたいと考えています。

これは、特に、今年の夏に予想されている、厳しい電力事情の中で、
これまでに近い研究活動を維持するために、必要となってくる取り組みです。

われわれは、今回の地震の以前から、
独立行政法人 新エネルギー・産業技. 術総合開発機構(NEDO)の
異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト (BEANSプロジェクト)における
Gデバイス開発
の一環として、
クリーンルームや製造装置の消費電力をモニタリングしてきました。

MEMSや半導体などの分野において、今回、紹介するような、製造装置やクリーンルームの
消費電力の内訳を「見える化」した例は、これまで、ほとんどないのです。

今回、こうしたデータをもとに、ある程度、省く余地が残っていると思われる消費電力を推測しました。

そして、その推測をもとに、クリーンルームの運用を再開し、消費電力を最小化する試みを始めていきます。
クリーンルームの消費電力の削減についての議論の一端となれば、幸いです。

まずは、クリーンルーム内で使われている製造装置の消費電力を、どのように削減するのか、紹介します。 



(図拡大) 

【三つの製造装置で全体の約7割を占める】


製造装置全体の消費電力において、大きな割合を占めているのは、三つの製造装置です。  (全文)
 

(続く、次回はクリーンルームの省エネについて)