> 集積マイクロシステム研究センター
光マイクロナノシステム研究チーム
混合凝縮性ガス下でのUVナノインプリントによる低欠陥の樹脂パターニング技術
ナノインプリント法を用いた厚膜ナノ印刷プロセスと印刷形成されたフレキシブルメタマテリアル
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光マイクロナノシステム研究チームでは、微細パターン作製技術とその光マイクロシステムおよびナノフォトニクスシステムへの応用を目指した研究開発を進めています。主な取り組みとして、ナノインプリント技術、高精細・厚膜印刷技術、異種材料集積技術、低温接合技術やMEMSパッケージング技術などが挙げられます。 最近のトピックスの一つとして、表面の微細構造を利用した簡便な厚膜ナノ印刷技術があります。サブマイクロメートルのパターンやアスペクト比が10を超えるパターンの印刷形成が可能で、タッチパネルなどのエレクトロニクス応用のみならず、特殊な微細パターンを利用した光学的な応用展開を進めています。  チームメンバー
研究課題混合凝縮性ガス下でのUVナノインプリントによる低欠陥の樹脂パターニング技術 ナノインプリント法を用いた厚膜ナノ印刷プロセスと印刷形成されたフレキシブルメタマテリアル (作成日：2018/5/7）  |
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