集積マイクロシステム研究センター

MEMS集積化プロセス研究チーム

光マイクロナノシステム研究チーム

社会実装化センサシステム研究チーム（2018年度まで）

IoT無線MEMSシステム研究チーム（2018年度まで）

化学バイオ流体デバイス研究チーム