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スーパークリーンルーム(SCR)

現在、新型コロナウィルス対策を実施中です。(2020年6月19日)

液浸ArFエキシマレーザー露光装置 Cu CMP装置
内部風景 300mm処理ウエハ

連絡先

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 研究開発施設ステーション

〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西7 SCR棟
電話:029-849-1530 FAX:029-849-1533
(技術問い合わせは電話では回答できません。以下の問い合わせフォームかメールをご利用ください。)
問い合わせフォーム:フォームを開く
Eメール:scr_contact-ml*aist.go.jp(*を@に変更して送信下さい。)


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