TIA推進センター

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スーパークリーンルーム(SCR)

スーパークリーンルーム(SCR)の概要

液浸ArFエキシマレーザー露光装置 Cu CMP装置

施設概要


ご利用方法

内部風景 300mm処理ウエハ

 

ご利用方法と書式等

FAQ一覧

利用相談および問い合わせ

国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター  共用施設運営ユニット  スーパークリーンルームステーション

〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西7 SCR棟
電話:029-849-1530        FAX:029-849-1533         Eメール:scr_contact-ml