スーパークリーンルーム（SCR）
【お知らせ】産総研TIA推進センターSCRのページは移転しました。
新しい産総研TIA推進センターSCRのページは
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| 液浸ArFエキシマレーザー露光装置 | Cu CMP装置 |
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| 内部風景 | 300mm処理ウエハ |
連絡先
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 研究開発施設ステーション
〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西７ SCR棟
電話:029-849-1530 FAX:029-849-1533
（技術問い合わせは電話では回答できません。以下の問い合わせフォームかメールをご利用ください。）
問い合わせフォーム：フォームを開く
Eメール：scr_contact-ml*aist.go.jp（*を@に変更して送信下さい。）
