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   国立研究開発法人 産業技術総合研究所
   センシングシステム研究センター
   Sensing System Research Center
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研究チーム概要 生産プロセス評価研究チーム

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研究目標

半導体製造、機械加工、素材関連など幅広い分野を対象に、大きなコストをかけずに製造技術の質の向上を目指すセンサシステム技術の開発に取り組んでいます。従来見落とされてきたプロセス異常やその兆候となる事象の発生を検知・診断するために、圧電センサや解析技術の研究を進め、実環境での評価実証に努めています。センサ等の少量生産に対応するための小型プラズマ源の研究にも取り組んでいます。

保有技術

 
 
 
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重点研究


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主要特許・論文



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