九州半導体・エレクトロニクスイノベーション協議会より技術大賞を受賞いたしました
2020/06/25
タイトル:半導体量産ラインの生産効率向上に資するプラズマインピーダンス計測システムの開発
受賞者:笠嶋 悠司(生産プロセス評価研究チーム)
受賞内容
九州半導体・エレクトロニクスイノベーション協議会(SIIQ)より技術大賞の銅賞を受賞いたしました。タイトル:半導体量産ラインの生産効率向上に資するプラズマインピーダンス計測システムの開発
受賞者:笠嶋 悠司(生産プロセス評価研究チーム)