産総研四国センター

徳島県立工業技術センター

分野 計測・分析
機器名 非接触3次元測定装置
型式と製造所名 NH−3N 三鷹光器(株)
装置の概要 本装置は非接触式のレーザプローブを用い,被測定物の形状・寸法を評価する装置です.レーザ光のスポットは直径2μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく,これをプローブとして表面を探り,幅,高さ等の寸法測定を自動で行います.非接触且つ微小なプローブを用いることにより,被測定物に傷をつけることなく,数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能です.
仕様・構成 測定範囲mm:XY150,Z100
測定精度 :XY(1+5L/150)μm,Z(1+5L/100)μm
分解能  :XY0.1μm,Z0.01μm
設置年度 2001年
担当窓口 機械技術担当
料金 開放 1時間
料金 1180円
備考 中小企業技術開発産学官連携促進事業
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