産業技術総合研究所 四国センター

徳島県立工業技術センター

分野 計測・分析
有機材料診断
機器名 走査型電子顕微鏡
製造所名と形式 S-4300形電界放出形走査電子顕微鏡 (株)日立製作所
装置の概要 光学顕微鏡倍率以上での金属組織観察や、破断面・深いエッチング面など焦点深度の深い表面を観察
仕様・構成 電子銃:冷陰極電界放射形電子銃
加速電圧:0.5kV~30kV(0.1kVステップ)
分解能:1.5nm(加速電圧15kV WD=5mm)5.0nm(加速電圧1kV WD=5mm)
倍率: x20~x500,000
設置年度 平成10年度
担当窓口 材料技術担当
料金 依頼試験のみ対応
備考 電力移出県等交付金事業
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