産総研四国センター

高知県工業技術センター

分野 機械
機器名 超微粒子ビーム成膜装置
型式と製造所名 カキウチテクノサービス(株) KT-AD-03-HP
装置の概要
仕様・構成 成膜範囲:40mm×40mm X−Y軸電動可動式
成膜ノズル幅:10mm
セラミック原料:アルミナ等
設置年度 平成 16 年
担当窓口 生産技術課
料金 開放 1日
料金 9940 円
備考
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