産総研四国センター

香川県産業技術センター

分野 化学 、 計測・分析
機器名 電解放出型分析走査電子顕微鏡
型式と製造所名 SEM本体:日本電子(株)
SDD検出器:オックスフォードインストゥルメンツ(株)
装置の概要 各種材料における微細構造の高分解能観察及び元素分析
仕様・構成 【SEM本体】
・倍率:10〜1,000,000倍
・二次電子分解能:1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)
・電子銃:ショットキー電界放出型
・試料サイズ:Φ86mm×高さ40mmの全面観察が可能
【X線検出器】
・シリコンドリフト検出器(検出元素:Be−U)
・ライン分析、マッピング可能
設置年度 平成23年度
担当窓口 材料技術部門
料金 開放 1時間
料金 10160 円
備考
全体写真 全体写真



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