産総研四国センター

香川県産業技術センター

分野 化学 、 計測・分析
機器名 SEM観察用断面試料作製装置
型式と製造所名 日本電子(株)
IB-09010CP
装置の概要 アルゴンイオンビームによる断面研磨装置で、金属、セラミックス、高分子、紙などの各種材料並びにそれらの複合材料における内部構造や膜厚の評価、元素分析等のための試料前処理として用いる。
仕様・構成 ・加速電圧:2〜6kV
・イオンビーム径:500μm(半値幅)
・ミリングスピード:100μm/h(加速電圧6kV、2時間平均値、Si換算)
・最大搭載試料サイズ:11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)
・試料加工スイング角:±30°
設置年度 平成23年度
担当窓口 材料技術部門
料金 開放 1時間
料金 1410 円
備考
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