産総研四国センター

香川県産業技術センター

分野 計測・分析
機器名 レーザー顕微鏡
型式と製造所名 レーザーテック(株)
OPTEICS HYBRID L3
装置の概要 微小領域の高解像度画像観察、3D形状測定、非接触表面粗さ測定など
仕様・構成 ・光学系:共焦点光学系
・光源:405nm半導体レーザー光および白色光の2光源
・XYステージ:ストローク150mm、電動
・Z駆動:80mm、電動 (高さ測定範囲:8mm)
・対物レンズ:5倍、10倍、20倍、50倍、100倍
・幅測定再現性:3σ=0.01μm(対物レンズ100倍使用時)
・段差測定再現性:σ=0.010μm(対物レンズ100倍使用時)
・測定観察機能:高さ、幅、3D、距離、面積、体積等の各種形状測定機能、白色干渉測定機能、画像連結機能など
・粗さ測定機能:JIS規格(JISB0601-94、01)およびISO規格に準拠
設置年度 平成28年度
担当窓口 生産技術部門
料金 開放 1時間
料金 2100 円
備考
全体写真 全体写真



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