| 分野 | 化学 、 計測・分析 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | 電界放出型分析走査電子顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | SEM本体:日本電子(株) SDD検出器:オックスフォードインストゥルメンツ(株) |
| 装置の概要 | 各種材料における微細構造の高分解能観察及び元素分析 |
| 仕様・構成 | 【SEM本体】 ・倍率:10~1,000,000倍 ・二次電子分解能:1.2nm(30kV),3.0nm(1kV) ・電子銃:ショットキー電界放出型 ・試料サイズ:Φ86mm×高さ40mmの全面観察が可能 【X線検出器】 ・シリコンドリフト検出器(検出元素:Be-U) ・ライン分析、マッピング可能 |
| 設置年度 | 平成23年度 |
| 担当窓口 | 材料技術課 |
| 料金 | 11,940円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 | ![]() |

