| 分野 | 計測・分析 、 表面処理 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | レーザー顕微鏡 |
| 製造所名と形式 | OPTEICS HYBRID L3 レーザーテック（株） |
| 装置の概要 | 微小領域の高解像度画像観察、３Ｄ形状測定、非接触表面粗さ測定など |
| 仕様・構成 | ・光学系：共焦点光学系 ・光源：405nm半導体レーザー光および白色光の２光源 ・XYステージ：ストローク150mm、電動 ・Z駆動：80mm、電動 （高さ測定範囲：8mm） ・対物レンズ：5倍、10倍、20倍、50倍、100倍 ・幅測定再現性：3σ=0.01μm（対物レンズ100倍使用時） ・段差測定再現性：σ=0.010μm（対物レンズ100倍使用時） ・測定観察機能：高さ、幅、３Ｄ、距離、面積、体積等の各種形状測定機能、白色干渉測定機能、画像連結機能など ・粗さ測定機能：JIS規格（JISB0601-94、01）およびISO規格に準拠 |
| 設置年度 | 平成28年度 |
| 担当窓口 | 生産技術部門 |
| 料金 | 2,140円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
