産総研四国センター

愛媛県産技_紙産業技術センター

分野 計測・分析
機器名 収束イオンビーム装置
型式と製造所名 日本電子(株) 型 式 : SM-09010CP
装置の概要
仕様・構成 用 途 : 走査型電子顕微鏡(SEM)や赤外分光光度計(FT-IR)などで分析するために用いる試料にイオンビームを照射して研磨することにより精密な断面試料を作製できる装置です。
イオン加速電圧 : 2kV〜6kV
イオンビーム径 : 500μm(半値幅)
ミリングスピード : 200μm/2H(加速電圧:6kV、シリコン換算、エッジ距離:100μm)
設置年度 平成 21 年
担当窓口 紙産業技術センター
料金 開放 1時間
料金 640円
備考
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