分野 | 計測・分析 、 繊維 |
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有機材料診断 | |
機器名 | 収束イオンビーム装置 |
製造所名と形式 | SM-09010CP 日本電子㈱ |
装置の概要 | 走査型電子顕微鏡(SEM)や赤外分光光度計(FT-IR)などで分析するために用いる試料にイオンビームを照射して研磨することにより精密な断面試料を作製できる装置です。 |
仕様・構成 | イオン加速電圧 : 2kV~6kV イオンビーム径 : 500μm(半値幅) ミリングスピード : 200μm/2H(加速電圧:6kV、シリコン換算、エッジ距離:100μm) |
設置年度 | 令和元年度 |
担当窓口 | 繊維産業技術センター |
料金 | 660円/時間 |
備考 | |
全体写真 |