| 分野 | 計測・分析 、 繊維 |
|---|---|
| 有機材料診断 | |
| 機器名 | スパッタ装置 |
| 製造所名と形式 | JEC-3000FC 日本電子㈱ |
| 装置の概要 | 繊維等の導電性のない試料を電子顕微鏡で表面観察や分析を行う際、観察時に試料が帯電しないよう、前処理として試料表面に導電性の薄膜をコーティングします。 |
| 仕様・構成 | 試料台 ： 直径64mm 真空チャンバー ： 120mm径×100mm 排気能力 ： 120L/min 薄膜形成方法 ： スパッタリング方式 |
| 設置年度 | 平成28年度 |
| 担当窓口 | 繊維産業技術センター |
| 料金 | 440円/時間 |
| 備考 | |
| 全体写真 |  |
