産業技術総合研究所 四国センター

愛媛県産業技術研究所_技術開発部

分野 機械 、 計測・分析 、 材料
有機材料診断
機器名 レーザー顕微鏡
製造所名と形式 OPTELICS HYBRID L3 レーザーテック㈱
装置の概要 試料の微小領域表面を観察したり、非接触・非破壊で高精度に形状測定や粗さ測定するために使用します。
仕様・構成 光源 : 405nm半導体レーザー 及び 白色光(キセノンランプ)
対物レンズ : x5、x10、x20、x50(Apo)、x100(Apo)
XYステージ : ストローク150mm×150mm(電動)、最大搭載荷重5kg
Z軸駆動範囲 : 7mm
試料最大高さ : 80mm
視野 : 3000×3000μm(x5 白色)~75×75μm(x100 レーザ)
測定解析機能 : 高度差、面積・体積解析、3D表示、表面粗さ(JIS、ISO)、粒子構造物、針状構造物等
その他 : アクティブ除振台
設置年度 平成28年度
担当窓口 技術開発部
料金 440円/時間
備考
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