産業技術総合研究所 四国センター

愛媛県産業技術研究所_技術開発部

分野 計測・分析
有機材料診断
機器名 高分解能観察装置(FE-SEM)
製造所名と形式 JSM-7610F 日本電子㈱
装置の概要 無機物、金属、ナノ材料等の微細表面の形状観察及び元素分析に使用します。
仕様・構成 観  察  倍  率 : 25~1,000,000倍
加速電圧 : 0.1~30kV(0.1kVステップ)
二次電子分解能 : 1.0nm(加速電圧15kV)、1.3nm(加速電圧1kV)
X線分光器 : EDS
分析可能元素 : Be~U
設置年度 平成28年度
担当窓口 技術開発部
料金 770円/時間
備考
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