先端リソグラフィ
将来ビジョン
協議会

本協議会は、先端リソグラフィの将来ビジョンを示し、産総研の先端リソグラフィ施設の在り方を産業界とともに検討するため、2026年4月に設置されました。

本施設では、最新鋭のHigh-NA EUV露光装置と周辺装置を整備し、つくばセンター西事業所のスーパークリーンルーム（SCR）にある300mmパイロットラインと一体的に運用することで、先端リソグラフィ研究開発を支える基盤を構築します。

本施設は、装置・部素材メーカーやデバイスメーカーの活用の場となるとともに、産総研による研究・人材育成の基盤として機能し、我が国のEUV露光関連技術の国際競争力の維持・強化に貢献します。

• 先端リソグラフィ施設等への最新装置その他関連設備の導入に関する情報収集
• 民間企業及び学術機関に対するEUVリソグラフィ装置その他関連設備の提供に関する情報収集
• EUVリソグラフィ施設等の活用ロードマップの策定並びに当該施設を活用した民間企業との共同研究テーマの検討
• その他、本協議会の目的達成に必要な事業

本協議会は、法人会員及びアカデミー会員（個人会員）の参画のもと、総会や分科会等を通じて議論を深め、上記事業を推進します。

講演会

会員相互の交流、スキル向上のため定期的に講演会を開催します。