PoCファブ

Proof of Concept

次世代コンピューティング基盤技術開発を支える研究・試作ライン

PoCファブでは、次世代コンピューティングに必要となる量⼦デバイスを含む各種半導体デバイスの開発、シリコンに加えて異種材料を積層した各種デバイスの開発に必要となる施設群として、様々なナノ加工・計測・分析・評価が可能なナノプロセシング施設（NPF）、超伝導量子ビット・超伝導量子集積回路に対応した超伝導量子回路試作施設（Qufab）、シリコン量子ビット素子をはじめとする次世代半導体集積デバイスの試作が可能な未踏デバイス試作共用ライン（COLOMODE）の3つのクリーンルーム施設を一体的に運用しており、⼩径（3～4インチ）ウェハーを⽤いたアジャイル&フレキシブルな研究開発が可能です。
なお、本施設群の一部は、令和2年度第3次補正予算事業「重点産業技術に係るオープンイノベーション拠点整備（次世代コンピューティング、マテリアル）」の一環として整備したものです。