AIST
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター 物理計測標準研究部門
電磁気計測研究グループ
研究内容 Research
当研究グループでは下記の研究を実施しています。
VNA高精度評価
高精度オンウエハ計測
高周波アクティブデバイス計測
パワーエレクトロニクスデバイス計測
高損失材料計測
低損失材料計測
走査型マイクロ波顕微鏡
電磁波センシング
計量標準
国際標準化活動
計量標準開発・国際標準化(工事中)