校正 / 測定サービス Calibration / Measurement Searvice

量子計測基盤研究グループでは、検出効率、レーザエネルギー、微弱光源に関する測定サービスを実施しています。

検出効率（単一光子）関連標準の開発と整備

レーザエネルギー関連標準の開発と整備

加工用Nd:YAGや医療用赤外レーザなどで使用されているパルスレーザは、加工精度や人体への安全性の観点から、そのエネルギー値の信頼性がきわめて 重要です。 本研究室では、レーザエネルギーを産業界に供給できる体制の確立を目指し、高精度レーザエネルギー標準の開発を行っています。

レーザエネルギーの絶対値を求める標準測定では、パワー標準と同じくカロリメータ方式が用いられます。レーザ光源からの単一レーザパルスがカロリメータ 内部に入射すると、 そのエネルギーは吸収体によって吸収され、その温度が上昇します。この温度上昇は、熱電対で計測され電気的な信号として読み出されます。 カロリメータの絶対感度（単位エネルギー入力に対する出力電圧の比V/J）は、カロリメータに既知の電気的なエネルギーを与えたときの応答から求めること ができます。 あるいは、パワー標準で決定された連続レーザ光を既知の時間シャッターで開閉して連続レーザをパルス化し、これを標準器に入射させたときの応答から求める ことが出来ます。 　レーザエネルギー標準は、被試験器(Device Under Test : DUT)のレーザエネルギーに対する出力感度を決定するという形で供給されます。 その校正体系を左の図に示します。パルスレーザ光源からの単一レーザパルスは、既知の分岐比を持つビームスプリッタで分割され、 それぞれ同時に一次標準器とDUTに入射します。DUTに入射したレーザのエネルギーは、一次標準器で測定した値と分岐比から求めることが出来ます。 この入力エネルギーに対する応答出力として、DUTの感度を決定できるということになります

当研究室では、波長1.064 µmのNd:YAGを対象としたレーザエネルギー標準の開発を進めており、2006年度より基本波に対する供給を開始すると共に、エネルギー範囲や、2倍 波、3倍波等への波長範囲拡張を進めてきました。 現在の校正サービスにつきましては、標準供給体制を御参照下さい。