電子顕微鏡 TEM / SEM

電子顕微鏡 (TEM / SEM)

1. 電子顕微鏡の原理

透過型電子顕微鏡と光学顕微鏡の比較

2. 顕微鏡の特徴

比較表

3. 電子顕微鏡システム

Microscope System

4. 電子顕微鏡の機能

5. ナノ粒子観察例

Microscope System Microscope System
(左)金コロイド粒子 (右)酸化チタン

TEM/SEM像の解析原理と粒子解析例

1. Mean Shift 法の原理

任意の入力画像を あらかじめ決めておいた特微量に基づいて 均一な小領域分割をする手法です。

Mean Shift法の原理図

2. Mean Shift 法の特徴

Mean Shift 法は他の分割法に比べ人間の判断に近い分析方法です。

網羅率と精度のグラフ
網羅率と精度のグラフ

人間の目は、 網羅率 0.7 で正確さは 0.9 程度 (人は画像から 7 割程度の輪郭を把握し、認識した輪郭のうち 9 割が正しい)

3. Mean Shift 法を用いた TEM/SEM 像解析例

Microscope System Microscope System
30nm 径 PSL の (左)T-SEM 画像 (右)粒子分布自動解析像

粒径分布解析結果

粒径分布解析結果
横軸: Particler diameter (nm)、縦軸:counts、平均径:26 nm