原子間力顕微鏡 AFM

原子間力顕微鏡法 (AFM) の原理

AFM(走査型プローブ顕微鏡)は、 微小な探針で表面をなぞることで形状や物性解析を行います。 ナノ粒子計測では、 ナノ粒子の基板固定から AFM 測定、データ解析までを行います。

1. ナノ粒子計測プロトコル

ナノ粒子計測プロトコル

2. AFM 測定構成図

測定構成図

3. 測定システム例

測定システム例
走査型プローブ顕微鏡 AFM5200S(日立ハイテクサイエンス社製)

AFM の特徴と測定事例

1. AFM の特徴

AFM(走査型プローブ顕微鏡)は、 その原理から下記のような特徴を持っています。

  1. 大気中で測定できる。
  2. シングル nm の粒子まで高分解能で測定できる。
  3. 粒子表面の微細構造が観測できる。
  4. 連なった粒子も粒子径を求められる。
  5. 大きさの異なる(多峰)粒子も測定できる
  6. 個数基準測定であり、1個1個の粒子の3次元形状が測定できる。
  7. 材質の異なる粒子の分離計測ができる。

2. 測定事例

測定事例として、 PSL(ポリスチレン)70 nm と 100 nm 粒子の 1:1 混合サンプルの測定結果を紹介します。

測定事例