分析計測標準研究部門

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ナノ顕微計測研究グループグループのHP

イオン化とその量子操作は、中性の原子分子等に電荷を与える際にその構造や電子状態を量子レベルで操作する技術です。この技術は、生命現象の源であるナノ物質(タンパク質など)やナノデバイスの超微粒子・表面(ナノ構造)などの分析に応用できます。クラスタービーム技術、レーザー技術等を活用したイオン化・量子操作に関わる要素技術の開発、及び、これら独自性の高い技術を応用した新規な分析システムの開発を行っています。

グループの研究課題

図2
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クラスターイオンビームの生成・制御技術と応用

金属錯体やイオン液体などを利用した、新規なクラスターイオンビームの生成・制御の研究を行っています。固体表面へのクラスターイオンビーム照射では、表面近傍にのみ高密度でエネルギーを付与できるため、スパッタリング収率が高いにもかかわらず材料内部へのダメージを抑制できる等の利点があります。そこで、クラスターイオンビームを表面分析や表面加工技術等に応用する研究も行っています。

図1
図2

分析システムの開発

 飛行時間質量分析(TOF-MS: Time-of-Flight Mass Spectroscopy)など、分析システムの開発を行っています。

 イオン付着イオン化(IA:Ion-attachment Ionization)飛行時間質量分析装置(IA-TOF)を世界に先駆けて開発しました。また、クラスターイオンビームを励起源とする二次イオン質量分析装置(SIMS: Secondary-Ion Mass Spectrometry)や、イオンビーム等を励起源として生成した中性粒子をレーザーでイオン化する中性二次イオン質量分析装置(SNMS: Secondary Neutral Mass Spectrometry)も開発しています。

グループの構成メンバー

顔写真 所属・役職及び名前 専門分野 メールアドレス、ホームページ、他
岡部
グループ長
藤原 幸雄(Yukio FUJIWARA)
クラスターイオンを用いた二次イオン質量分析 メールアドレスyukio-fujiwara[アット]aist.go.jp
津田
研究グループ付
山本 和弘(Kazuhiro YAMAMOTO)
超低エネルギーイオンビーム技術と透過型電子顕微鏡 メールアドレスk-yamamoto[アット]aist.go.jp
主任研究員
鈴木 淳(Atsushi SUZUKI)
気相・プラズマ診断
真空紫外光によるスパッタ粒子検出
メールアドレスa-suzuki[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
岡部
主任研究員
井藤 浩志(Hiroshi ITOH)
原子間力顕微鏡の定量性の向上、及び標準試料の開発 メールアドレスh.itoh[アット]aist.go.jp
岡部
主任研究員
重藤 知夫(Tomoo SHIGEHUZI)
走査近接場光学顕微鏡技術、及び走査プローブ顕微鏡試料作成技術の開発 メールアドレスsigehuzi.tomoo[アット]aist.go.jp
岡部
主任研究員
浅川 大樹(Daiki ASAKAWA)
質量分析におけるイオン化、及びフラグメンテーション メールアドレスd.asakawa[アット]aist.go.jp

([アット]を@にして送信してください)


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