分析計測標準研究部門

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ナノ分光計測研究グループグループのHP

活性種グループロゴ私たちの生きる21世紀の現代社会は、多様な機能性素子を要素として構築した大規模システムがその基盤となって います。これら機能性素子を構成するのは、表面・界面・薄膜に代表されるナノ材料です。当グループでは、反応性の高い活性種が重要な役割を果たすこれらナ ノ材料及びその作製プロセスの計測・解析・評価技術の研究開発を進めています。また、これら技術の応用による新たな知見の解明や、技術の普及に不可欠な工業標準化の推進も行なっています。

グループの研究課題

図1
図1 フェムト秒過渡吸収顕微分光システム

ナノ材料(表面・界面・薄膜)の計測・解析・評価技術の研究開発

表面・界面・薄膜などのナノ材料から光や電子・イオンなどのプローブによって選択的・特異的に発生する信号を高感度・高精度に検出する計測・解析・評価技術の研究開発とその応用を進めます。

  • TEMやSPM等の顕微鏡法によるナノ材料の構造や形状の計測・解析・評価
  • SIMS等の質量分析法によるナノ材料の組成の計測・解析・評価
  • 過渡吸収分光法等の分光法や光学的手法によるナノ材料の状態の計測・解析・評価
  • ナノ材料の計測・解析・評価技術による新規挑戦的分野の開拓
図2
図2 水晶振動子を用いた分圧計測システム
(民間企業と共同開発)

ナノ材料作製プロセスの計測・解析・評価技術の研究開発

ナノ材料作製プロセス中での気相の巨視的・微視的状態に関する計測・解析・評価技術の研究開発とその応用を進めます。

  • 水晶振動子を用いたナノ材料プロセス環境の分圧計測
  • 酸化等のナノ材料プロセス過程での反応中間体の検出と追跡

グループの構成メンバー

顔写真 所属・役職及び名前 専門分野 メールアドレス、ホームページ、他
津田
グループ長
中村 健(Ken NAKAMURA)
半導体表面化学、表面・界面分析 メールアドレスken.nakamura[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
岡部
上級主任研究員
白井 智宏(Tomohiro SHIRAI)
物理光学、生体医用光学
メールアドレスt.shirai[アット]aist.go.jp
ホームページURLHP
岡部
主任研究員
永宗 靖(Yasushi NAGAMUNE)

メールアドレスnagamune.y[アット]aist.go.jp
岡部
主任研究員
永井 秀和(Hidekazu NAGAI)
光化学 メールアドレスnagai-hidekazu[アット]aist.go.jp
岡部
主任研究員
松﨑 弘幸(Hiroyuki MATSUZAKI)
光物性物理学、特にフェムト秒レーザー分光法の開発とこれを用いた光機能性材料の機構解明に関する研究 メールアドレスhiroyuki-matsuzaki[アット]aist.go.jp
岡部
研究員
細貝 拓也(Takuya HOSOKAI)
有機薄膜物性、特に電子分光法やX線散乱による構造電子物性相関の研究 メールアドレスt.hosokai[アット]aist.go.jp

([アット]を@にして送信してください)


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